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光刻掩膜版加工最小尺寸
【2021-07-23】

光刻掩膜版加工最小尺寸?

光刻版加工尺寸有多种,不同行业常用尺寸也不同。

IC(集成电路)行业专用光刻掩膜版,常用石英和苏打3~14 inch的基材光掩模,制作精度覆盖0.13um,0.18um,0.25um,0.35um,0.5um及以上芯片工艺节点(node),最小图形制作高达0.5um,制作精度±0.03um,也可以根据客户的具体需求进行定制加工。

光刻掩膜版的应用还包括光学器件编码器等行业、FPC/MEMS(线路版、电子传感器)行业、LCD(液晶显示器)行业、Touch panel(触摸屏)行业等等。


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