光刻掩膜版的总体费用主要包含原材料费用以及相关设备机台的使用费用，另外还有光刻掩膜版相关数据的使用软件的购买以及授权等费用、相关的服务器费用、人工费等等。

光刻掩膜版的材料主要分为石英基材和苏打基材，石英材料多是国外进口，价格较贵，苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），集高精度掩模版的设计、研发、制作与服务为一体，强大的生产力可实现三天交付,客户提供质量更优,价格更廉,制版更快的贴心服务。