制作一块光刻掩膜版并不仅仅是一台光刻机就能完成的，而是需要一整条完整的产线。

首先是在掩膜版基板上覆盖一层材料，覆盖的材料包含乳胶、铬等材料；接下来就是进行光刻步骤，硅时代目前引进的光刻机分别是德国的ULTRA200光刻机，适用于IC 0.28um等级的产品，以及瑞典的SLX2光刻机，适用于IC 0.13um等级的产品；光刻之后掩膜版需要进行检测，检测掩膜版无缺陷后才能出货，这一步会用到检测设备；如果掩膜版需要贴膜保存，还需要进行清洗、贴膜的步骤，需要用到清洗设备以及镀膜机。