掩膜版也叫光罩，在光刻过程中用于遮光，以使设计好的电路图案成功曝光在感光胶上。按用途分，目前市面上的掩膜版主要分为菲林掩膜版，铬掩模版以及干板和液体凸版四种。

菲林掩膜版以树脂为基板，价格相较其他类型更低，但精度较低，使用次数有限制。

铬掩模版相较于菲林掩膜版精度更高，更耐用，与此同时价格也更高。