光刻掩膜版的检验是用传播光检查制作缺陷，在以前，这项检查是使用显微镜，人工来检验完成的，但如今掩膜版越来越复杂，检验工作也从人工检查转变为自动化工具检查，这种转变使得光刻掩膜版的检验更加迅速，也减少了错误的产生。

光刻掩膜版的检验主要分为外观检验以及尺寸测量。

外观检验主要是查看光刻版表面是否有凹陷、针孔、黑点、划伤、脏点等，同时也要检测图形是否完整。

尺寸测量主要是测量切割尺寸、居中尺寸，以及测量CD精度。