掩模版制作的材质常见有石英玻璃，苏打玻璃等。

石英玻璃：热膨胀系数非常小，在深UV和近深UV区域都有很高的穿透系数，但是石英玻璃的价格也较为昂贵；

苏打玻璃：热膨胀系数较高，需要根据不同的光刻机及曝光参数进行特殊的修调，优点是价格低廉，常用于低端光刻版。

膨胀性能的基本概念：

膨胀系数与热容的关系：

苏州硅时代的掩膜版快速制版业务选用进口原材料，并根据客户不同应用场景合理推荐高性价比光刻版。