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电路信息怎么转移到光刻掩膜版?
【2021-09-24】

  光刻掩膜版其实就是电路信息转移的工具,首先是使用软件,绘制出所需的图形,也就是电路信息,然后把版图文件信息传输进光刻机,通过投影和离子束曝光的方式,将版图文件上的电路信息制作在光刻掩膜版上,这样就得到了一块带有电路信息图案的掩膜版。

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