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为什么说掩膜版是光刻工艺中的消耗品?
【2021-09-18】

  掩膜版是转移图形的工具,光刻掩膜版的作用就是为了将电路信息图形转移到硅片或者玻璃衬底上,每个掩膜版所能够绘制的电路信息图形是有限的,而芯片制作需要很多不同的电路信息图形,所以在芯片制作过程中需要很多块掩膜版,每个掩膜版转移完版上的图形后,就不会再用到了,而且如果工艺验证过程中,有细微的差异,可能还需要光刻的版图进行调整,从而达到参数补偿的问题,那么原本制作的光刻半也不会再使用了,所以说光刻掩膜版是光刻工艺中的消耗品。

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