掩膜版 光掩膜基版 光掩膜 光刻掩膜版
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制作掩膜版的材料是啥？
【2022-03-02】

掩膜版的制作首先需要提供掩膜基板，常见的掩膜基板有石英和苏打两种材料。

光刻过程则需要根据实际图案选择合适属性的光刻胶，以完成曝光、显影。

得到光致刻蚀图案后，则需要使用特殊的化学试剂对初始掩膜版下表面进行刻蚀。


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