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制作光刻掩膜版用什么软件画图?
【2022-03-15】

  制作光刻掩膜版需要使用相关软件制作版图。

  制作版图时,可以先使用ppt或者其他简单的绘图软件设计pattern,在此基础上,依据具体的图形大小、间距,使用Coredraw、CAD、L-edit等矢量图制作软件再次准确绘制,获得光刻掩膜版制造方需要的版图格式文件。


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