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2021-07-24

光掩膜基版 工序是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,用来承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的重要载体。 在微纳(MEMS)加工过程中,光掩模版...

2021-07-24

掩模版 制作的材质常见有石英玻璃,苏打玻璃等。 石英玻璃:热膨胀系数非常小,在深UV和近深UV区域都有很高的穿透系数,但是石英玻璃的价格也较为昂贵...

2021-07-24

 光刻掩膜版 的检验是用传播光检查制作缺陷,在以前,这项检查是使用显微镜,人工来检验完成的,但如今掩膜版越来越复杂,检验工作也从人工检查转变...

2021-07-24

 掩膜版 有多个名称,也称作光刻掩膜版、光罩、光刻版、掩膜基板、光掩模等等,是用来制作掩膜图形的面板,常在芯片制作过程中使用,是图形转移的工...
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